Laser-plasma sources for extreme-ultraviolet lithography
- Författare
- Kungl. Tekniska högskolan Björn A. M. Hansson
- (Björn A.M. Hansson., Härtill 7 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Stockholm : Tekn. högsk., 2003)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 2003 | Sverige, Stockholm | xi, 58 sidor. ill. 24 cm |